热式气体质量流量控制器与其他流量计的区别在于：热式原理的产品可自动化集成度更高、产品精度好、稳定性和重复性都是优于市面上其他类型的流量控制器。实际使用中发现，当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符，其实原因很简单，因为在MFC行业中，有一种参数叫CF，即气体转换系数（下面简称CF）。而MFC行业中又把N2（氮气）定义为标准气体M。N2的CF值为1.00，其他的气体以氮气为中心，分布在0.1到1.4左右。
热式流量计是基于热扩散原理而设计的流量仪表，即利用流体流过发热物体时，发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。该系列流量计的传感器有两只标准级的RTD，一只用来做热源，一只用来测量流体温度。当流体流动时，两者之间的温度差与流量的大小成线性关系，再通过微电子控制技术，将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。阀体过流材质均采用不锈钢制成。
在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、氧化、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、催化装置、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
