热式气体质量流量控制器一般用氮气标定,本质量流量控制器/流量计出厂通常用氮气(N2)标定。如果要求用使用气体标定,需要在订货时与销售人员特别申明。用氮气标定的流量控制器用户使用其它气体时,可以通过本公司说明书的附录表转换系数进行换算。
质量流量控制器/流量计由流量传感器、分流器通道、流量放大电路、调节阀、PID 控制电路以及外部接头、外壳组成。产品的工作原理为:气体质量流量控制器/流量计采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿),将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等,分流器决定主通道的流量。
松盛测控的AC和DC系列的气体质量流量计和流量控制器是在20℃,1个大气压条件下标定的,主要是指气体在1分钟的体积流量单位。根据产品性能特点气体质量流量计多用于气密性测试、气体检测仪、空气检测、半导体设备等气体流量检测行业和生产。热式气体质量流量控制器多用于气体动态配比装置、环境检测、真空镀膜、航空航天、光伏行业、精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、食品及制药产业、气相色谱仪等相关行业。