热式气体质量流量控制器简称MFC（Mass Flow Controller），热式气体质量流量计简称MFM（Mass Flow Meter），MFC是带有控制气体质量流量的装置，而MFM是不具有控制气体质量流量功能的装置。
目前国内使用最为广泛的是热式气体质量流量控制器即MFC，热式气体质量流量控制器的主要原理是：在直径较细的感应管中放置两对加热器，并将其控制在同一温度。当流体流动时，气体将上游的部分热量带给下游，而下游的加热器从上方获取热量温度上升。这时，利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理，来测定流量。热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。
成都松盛测控生产的热式气体质量流量控制器与质量流量计能使用于：Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10等绝大多数气体。主要用于：石油化工、半导体行业、气体分配系统、燃料电池、实验室气体检测，具有体积小、数字化程度高、安装方便，测量准确等优点。
