热式气体质量流量控制器/流量计的通讯方式常分为:模拟式和数字式两种。智能仪表随着80年代初单片机技术的成熟而发展起来,最初是数据模拟信号输出简单过程量,后来仪表接口是RS232接口,这种接口可以实现点对点的通信方式,但这种方式不能实现联网功能,随后出现的RS485解决了这个问题。
目前国内使用最为广泛的是热式气体质量流量控制器即MFC,热式气体质量流量控制器的主要原理是:在直径较细的感应管中放置两对加热器,并将其控制在同一温度。当流体流动时,气体将上游的部分热量带给下游,而下游的加热器从上方获取热量温度上升。这时,利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理,来测定流量。热式流量计传感器包含两个传感元件,一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值,使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时,电加热消耗的能量,也可以说热消散值,与流过气体的质量流量成正比,它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。
目前我公司的热式气体质量流量控制器是在20℃,1个大气压条件下标定的,主要是指气体在1分钟的体积流量单位。产品耐压主要分为:10Bar、50Bar和100Bar。