热式气体质量流量控制器的主要特点为:能控制气体的质量流量包括微小流量,控制的气体的流量数值不受温度和压力的影响!随着电子陶瓷行业的快速发展,质量流量控制器在陶瓷材料的生产中,也扮演着十分重要的角色!新型电子陶瓷材料具有各种优良的物理和化学特性,使其在航空航天、机械工程、汽车零部件、军亊、生物医疗等领域也得到了广泛应用。
电子陶瓷是指应用于电子工业中制备各种电子元器件的陶瓷材料,是采用人工精制的无机粉末为原料,通过结构设计、精确的化学计量、合适的成型方法和烧成制度而达到特定的性能,经过加工处理使之符合使用要求尺寸精度的无机非金属材料。
控制电子陶瓷的相关流量、压力等条件的优先选择是基于热式气体质量流量测量技术的仪表。该原理质量流量控制器可实现宽量程比、高精度、高重复性好的流体检测和控制,能达到这一要求和目的,主要是有以下几点:
1、质量流量控制器通过PID控制的比例阀门,响应快速、控制准
2、对H2、N2、O2和其他气体进行更灵活的混合和比例进样控制
3、数据传输形式多样,自动化集成度高,可拓展性强
4、无易损件,方便拆卸和后期设备维护