松盛测控的气体流量自动调节控制阀，可以精 准的控制各种气体的进气流量，而且可以根据自动程序控制器进行有序、预设的流量调节。测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响，将传感器测得的流量检测信号输入电路板，经过放大后输出,就完成了MFM的功能。将电路板中加入PID闭环自动控制，即是完成MFC的功能。
气体流量自动调节控制阀在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、氧化、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、催化装置、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
在标准型流量控制器的基础上为各种复杂工况设计，可在高压环境10Mpa下进行气体流量的测量和控制，精度优于±1.0%满量程。同时，还有一体显示的气体流量计，触屏式操作的自由切换，实时显示瞬时流量、累计流量、通讯方式、通讯地址等参数信息，助力您高效、精准的进行实验研究。
