四氟化碳又名四氟甲烷，是一种比较少见的无机化合物。主要用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。
AC-S030C系列的四氟化碳质量流量控制器，能准确的控制气体的质量流量，和其他种类的气体作为低温冷却剂，它可用于电路板的制造，以及制造绝缘物质和半导体，在PE CVD炉上广泛使用。
松盛测控的质量流量控制器和流量计的过流阀体均采用316L不锈钢的材质，稳定性好，接触各种气体时很少会发生反应，故是适用于绝大多数的气体。在使用低浓度气体时，用户在订货时需特殊说明一下，本公司会根据实际使用，来选择相对应的密封材质，从而达到更好的适配性。即使是低浓度的气体，在通过流量计的时候，也是不会有吸附或干扰性的。
能给用户提供单一的热式气体质量流量控制器或流量计以外，还能为用户提供成套的气体设备，能按照用户使用要求将一个或多个流量控制器与压力传感器、电磁阀、单向阀、过滤器、混合室或其他要求的模块组合在一起，实现高端的非标定制功能。
