成都松盛测控技术有限公司的气体质量流量控制器，适用于控制多种不同气体的质量流量。其中包含一些特殊气体，比如：氘气、氚气、臭氧等。今天就跟大家聊聊臭氧气体质量流量控制器，这是一款基于质量流量控制技术设计的专用设备，其核心功能是精确调控臭氧（O₃）的质量流量。由于臭氧具有强氧化性和腐蚀性，因此流量控制器需在常规气体质量流量控制器基础上进行特殊设计。
臭氧气体质量流量控制器的量程范围广泛：从5sccm——3000slm均可标定定制，需覆盖实际应用需求（如实验室常用0~10 SLPM，工业场景可达0~500 SLPM）。本公司产品的耐压等级非常高，常规是3Mpa可选10Mpa，但是实际使用的时候臭氧系统压力通常高于常规气体即可。
臭氧气体质量流量控制器在半导体制造、水处理等工艺中，控制臭氧气体参与反应的流量，例如ALD（原子层沉积）工艺中的氧气流量控制。
