SSGM系列的氮氢浓度配比与充气装置是10%VOL浓度的氢气混合气充气装置，本充气装置采用气体质量流量控制器（MFC）作为核心流量控制元器件，用于制备氢气体积分数 10%、氮气 90% 的氢氮混合气体，完成对目标腔体的充气作业。
氮氢浓度配比装置分为气源预处理单元、流量控制单元、气体混合单元、充气输出单元。高纯氢气、高纯氮气两路气源分别经过减压阀、过滤器完成稳压、过滤净化后，分别进入两路独立的质量流量控制器；控制系统根据 10% 氢气配比目标，输出控制信号，MFC 闭环调节两路气体的质量流量，实现氢气、氮气流量精准配比。两路气体进入静态混合器充分混匀，得到组分均匀的氢氮混合气，之后输出至被充工件 / 腔室完成充气流程。
选用质量流量控制器直接对气体质量流量进行测控，可降低气源压力、温度波动带来的配比误差，保证输出混合气氢气浓度稳定维持在 10%。可根据工艺需求配置浓度监测模块，实时监测混合气氢气浓度，实现浓度反馈修正；同时具备压力超限、气源异常保护功能，提升设备运行安全性，适用于需要 10% 氢氮保护气氛的充气工艺场景。
