气体动态混合系统是一种用于将不同气体混合物的浓度调节到目标浓度的动态气体混合方法。该方法包括以下步骤:设备连接不同规格的气体气源,利用第一质量流量控制设备来调节进气气体的流速作为气体浓度调节的组合气;利用第二质量流量控制设备来控制平衡气体的流速,再进行混合以便产生处于目标浓度的最终混合气体。
气体动态混合系统是一台智能化在线气体浓度混合装置,由流量控制系统、气路控制系统和计算机控制系统组成。现有技术中,选用不同的质量流量控制器对气体流量进行控制,通过控制不同通道的体积流量,达到对气体标准物质的定量稀释,从而实现将高浓度的气体稀释为不同低浓度气体的目的。主要应用于计量检测部门检定气体分析仪、校准各种仪器而配制气体标准物质,同时可用于环境检测、真空镀膜、航空航天、光伏行业、精密半导、石油化工、煤矿等多行业配制气体标准物质。
随着本产品的应用越来越广泛,重要性不断提升, 因此出厂的SSGM系列的气体动态混合组合采用结构简单,混合效率高,将混合腔室与缓冲静置腔室合并,采用现代高科技的技术和计算机领域的自动化以及其他相关的工艺与技术,从而形成一个比较全面的技术化设备,是综合工艺的运用。